DECHUAN ผลิตเครื่องอัดอากาศแบบไม่มีน้ำมันสำหรับห้องปฏิบัติการเซมิคอนดักเตอร์เพื่อการส่งออกโดยตรง ระบบพิเศษนี้ให้อากาศไร้น้ำมันที่ผ่านการรับรองเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของเวเฟอร์ในห้องคลีนรูมและข้อบกพร่องในการผลิตไมโครชิปที่มีราคาแพง ติดต่อเรา!
เพื่อสร้างสายสาธารณูปโภคที่เชื่อถือได้สำหรับศูนย์วิจัยที่มีความแม่นยำ จัดหาแหล่งจากซัพพลายเออร์เครื่องอัดอากาศแบบไม่มีน้ำมันของจีนสำหรับห้องปฏิบัติการเซมิคอนดักเตอร์ โซลูชันอากาศที่มีความบริสุทธิ์สูงของ DECHUAN ใช้ซีลแยกคาร์บอนหลายชั้นเพื่อกำจัดไฮโดรคาร์บอนปริมาณเล็กน้อย เพื่อให้มั่นใจว่าก๊าซมีคุณภาพบริสุทธิ์สำหรับการกัดซิลิคอนที่สำคัญ
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการพิมพ์หินแบบฟิล์มบาง แม้แต่หยดเล็กๆ น้อยๆ ของไอน้ำมันที่ไหลผ่านสายการบินก็สามารถทำลายชุดการผลิตทั้งหมดได้ ผลิตภัณฑ์พิเศษนี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้ตรงตามมาตรฐานความบริสุทธิ์สูงสุด:
• การจ่ายอากาศคลาส 0 ที่ได้รับการรับรองจาก TÜV: ระบบของเราผ่านการทดสอบอย่างเข้มงวดภายใต้อุณหภูมิการทำงานที่แปรผัน การวิเคราะห์โดยอิสระช่วยยืนยันว่าไม่มีร่องรอยของน้ำมันในกระแสลมเอาท์พุตอย่างแน่นอน
• เส้นทางอากาศภายในที่ปราศจากการกัดกร่อน: ท่อทุกชิ้น ชุดเครื่องทำความเย็น และเมทริกซ์การแยกส่วนท้ายของห้องอัดทำจากสแตนเลสระดับพรีเมียมเพื่อป้องกันสะเก็ดสนิมจากการปนเปื้อนในท่ออากาศในห้องสะอาด
• การบูรณาการ Elektronikon® ขั้นสูง: ตัวควบคุมแบบรวมจะติดตามตัวชี้วัดการทำงานอย่างใกล้ชิด และมีระบบปิดระบบความปลอดภัยเชิงรุกเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีอากาศที่ไม่บริสุทธิ์เข้าไปในตารางห้องปฏิบัติการ
ในการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ละอองน้ำมันเพียงหยดเดียวสามารถปนเปื้อนสภาพแวดล้อมของห้องปลอดเชื้อทั้งหมดได้ ทำลายเวเฟอร์ซิลิคอนหลายพันแผ่น และทำให้คนนับล้านเสียเวลาในการผลิต เครื่องอัดอากาศแบบดั้งเดิมไม่สามารถรับประกันความบริสุทธิ์ของไฮโดรคาร์บอนเป็นศูนย์สัมบูรณ์ที่จำเป็นสำหรับกระบวนการระดับนาโนเมตรเหล่านี้
เครื่องอัดอากาศแบบไม่มีน้ำมันเฉพาะสำหรับ Semiconductor Labs รับประกันความปลอดภัยของกระบวนการอย่างแท้จริง:
• การไหลของอากาศ CLASS 0 ที่ผ่านการรับรอง: ทดสอบอย่างเข้มงวดโดย TÜV ในช่วงอุณหภูมิและแรงดันสุดขีดเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีน้ำมันเลย
• ภายในที่ปราศจากอนุภาค: พรีคูลเลอร์ที่ทำจากสเตนเลสสตีลและเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบครีบดาวช่วยขจัดสะเก็ดออกซิเดชันหรือการไหลของสารเคมีภายในเส้นทางอากาศ
• ระบบตรวจสอบอิเล็กทรอนิกส์: การแจ้งเตือนการบำรุงรักษาเชิงรุกและการปิดระบบข้อผิดพลาดอัตโนมัติ ป้องกันการเบี่ยงเบนของระบบก่อนที่จะไปถึงเครื่องมือคลีนรูมของคุณ
• อัตรากำลังของระบบ: 55kw - 900kw การกำหนดค่าความหนาแน่นสูง
• อัตราการจัดส่งตามปริมาตร: 4.2 - 148.5 ลบ.ม./นาที เอาต์พุตสตรีมสะอาด
• การจำแนกประเภทปริมาณน้ำมัน: ISO 8573-1 Class 0 การตรวจสอบความถูกต้องโดยสมบูรณ์โดยปราศจากน้ำมัน
• รูปแบบการทำความเย็น: การระบายความร้อนด้วยของเหลวจากสเตนเลสสตีลป้องกันการปล่อยสารเคมีออกมา
ZR/ZT 55-90 (FF) มาตรฐาน| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | กำลังติดตั้ง (กิโลวัตต์) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 55 -7.5STD | 7.5 | 169.7 | 10.2 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55 -8.6STD | 8.6 | 156.6 | 9.4 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55 -10STD | 10 | 140.9 | 8.5 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -7.5STD | 7.5 | 224.7 | 13.5 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -8.6STD | 8.6 | 214.9 | 12.9 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -10STD | 10 | 205.0 | 12.3 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -7.5STD | 7.5 | 267.2 | 16.0 | 90 | 72 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -8.6STD | 8.6 | 250.9 | 15.1 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -10STD | 10 | 236.5 | 14.2 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 55 -7.5STD | 7.5 | 166.4 | 10.0 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -8.6STD | 8.6 | 153.2 | 9.2 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -10STD | 10 | 137.6 | 8.3 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -7.5STD | 7.5 | 221.3 | 13.3 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -8.6STD | 8.6 | 211.6 | 12.7 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -10STD | 10 | 201.6 | 12.1 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -7.5STD | 7.5 | 263.9 | 15.8 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -8.6STD | 8.6 | 247.5 | 14.9 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -10STD | 10 | 233.1 | 14.0 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 74.7-229.4 | 4.5-13.8 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 81.7-202.9 | 4.9-12.2 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 74.1-282.5 | 4.4-16.9 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 75.5-250.5 | 4.5-15.0 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 71.2-226.0 | 4.3-13.6 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 78.2-199.6 | 4.7-12.0 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 70.6-279.1 | 4.2-16.7 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 72.0-247.1 | 4.3-14.8 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
เงื่อนไขการอ้างอิงประสิทธิภาพสำหรับหน่วยวัดตามภาคผนวก C ฉบับที่ 4 (2009) ของ ISO 1217:
· ความชื้นสัมพัทธ์: 0%
· แรงดันขาเข้าสัมบูรณ์:1 บาร์
· อุณหภูมิทางเข้า:วัดอัตราการคายประจุ (FAD) 20°C ที่ความดันใช้งานต่อไปนี้:
ประเภทความเร็วคงที่:
· -7.5 บาร์ประเภท: 7 บาร์
· -8.6 บาร์ประเภท:7 บาร์
· -10 บาร์:9 บาร์
ประเภท VSD:
· -8.6 บาร์ประเภท:7 บาร์
· -10.4 บาร์ประเภท:9 บาร์
· (2) ระดับความดันเสียงที่ปล่อยออกมาแบบถ่วงน้ำหนักของเวิร์กสเตชัน (LpWSAd) วัดตามมาตรฐาน ISO 2151:2004 (โดยใช้วิธีการสแกนความเข้มของเสียง 150 9614/2) ปัจจัยการแก้ไขที่เพิ่มเข้ามาใหม่คือค่าที่ไม่แน่นอนโดยสิ้นเชิง (KpAd) ซึ่งสอดคล้องกับโค้ดทดสอบ
· (3) น้ำหนักมีไว้เพื่อการอ้างอิงเท่านั้น น้ำหนักจริงที่ให้มาจะมีผลเหนือกว่า
ZR/ZT 110-160 (FF) มาตรฐาน
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | กำลังติดตั้ง (กิโลวัตต์) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 110 -7.5 มาตรฐาน | 7.5 | 318.2 | 19.1 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 297.5 | 17.8 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 -10 มาตรฐาน | 10 | 277.6 | 16.7 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -7.5 มาตรฐาน | 7.5 | 362.9 | 21.8 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 338.5 | 20.3 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -10 มาตรฐาน | 10 | 314.4 | 18.9 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -7.5 มาตรฐาน | 7.5 | 392.9 | 23.6 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 364.1 | 21.8 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -10 มาตรฐาน | 10 | 350.8 | 21.0 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -7.5 มาตรฐาน | 7.5 | 434.0 | 26.0 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 418.3 | 25.1 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -10 มาตรฐาน | 10 | 399.0 | 23.9 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 -7.5 STD | 7.5 | 315.0 | 18.9 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 294.2 | 17.6 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -10 มาตรฐาน | 10 | 274.3 | 16.5 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -7.5 STD | 7.5 | 359.6 | 21.6 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 335.3 | 20.1 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -10 STD | 10 | 311.1 | 18.7 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -7.5 STD | 7.5 | 389.6 | 23.4 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 360.8 | 21.6 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -10 มาตรฐาน | 10 | 347.5 | 20.9 | 145 | 79 | 3126 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -7.5 STD | 7.5 | 430.6 | 25.8 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 414.9 | 24.9 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -10 มาตรฐาน | 10 | 395.6 | 23.7 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR110VSD-8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 100.5-319.3 | 6.0-19.2 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR110VSD-10.4 มาตรฐาน | 10.4 | 167.1-292.1 | 10.0-17.5 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-8.6 มาตรฐาน | 8.6 | 107.1-357.1 | 6.5-21.4 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-10.4 มาตรฐาน | 10.4 | 166.6-331.0 | 10.0-19.9 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 123.3-390.0 | 7.4-23.4 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 166.6-357.8 | 10.0-21.5 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 123.3-411.0 | 7.4-24.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 166.6-377.6 | 10.0-22.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 VSD-8.6 | 8.6 | 99.9-327.6 | 6.0-19.2 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 VSD-10.4 | 10.4 | 165.5-291.9 | 9.9-17.5 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-8.6 | 8.6 | 124.8-357.5 | 7.5-21.4 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-10.4 | 10.4 | 164.9-331.2 | 9.9-19.9 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 143.9-388.8 | 8.6-23.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 164.9-358.2 | 9.9-21.5 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 146.9-438.2 | 8.8-26.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 164.9-378.1 | 9.9-22.7 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
ตามมาตรฐาน ISO 1217 ภาคผนวก C ฉบับที่ 4 (2009) เงื่อนไขการอ้างอิงประสิทธิภาพของหน่วยมีดังนี้:
· ความชื้นสัมพัทธ์: 0%
· แรงดันขาเข้าสัมบูรณ์:1 บาร์
· อุณหภูมิขาเข้า: 20°C
Displacement FAD วัดที่แรงดันใช้งานต่อไปนี้:
รุ่นความเร็วคงที่:
รุ่น -7.5 บาร์: 7 บาร์
รุ่น -8.6 บาร์: 7 บาร์
-รุ่น 10 บาร์: 9 บาร์
รุ่น VSD:
รุ่น -8.6 บาร์: 7 บาร์
รุ่น -10.4 บาร์: 9 บาร์
(2) ระดับความดันเสียงที่ปล่อยออกมาแบบถ่วงน้ำหนักของเวิร์กสเตชัน (LpWSAd) วัดตามมาตรฐาน ISO 2151:2004 (วิธีการสแกนความเข้มของเสียง ISO 9614/2) ปัจจัยการแก้ไขที่เพิ่มเข้ามาใหม่ KpAd มีความไม่แน่นอน ซึ่งสอดคล้องกับโค้ดทดสอบ
(3) V1=380V, V2=400V.
(4) น้ำหนักมีไว้เพื่อการอ้างอิงเท่านั้น น้ำหนักจริงจะเหนือกว่า
ZR/ZT 200-275 (FF)
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | กำลังติดตั้ง (กิโลวัตต์) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ซีอาร์ 200 -7.5 | 7.5 | 602.3 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 200 -8.6 | 8.6 | 552.1 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| zr 200 -10 | 10 | 506.6 | 30.0 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 250 -7.5 | 7.5 | 718.0 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 250 -8.6 | 8.6 | 684.3 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ฿250 -10 | 10 | 622.8 | 37.4 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 275 -7.5 | 7.5 | 774.4 | 46.5 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 275 -8.6 | 8.6 | 718.0 | 43.1 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 275 -10 | 10 | 683.9 | 41.0 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 275 -13 | 13 | 561.8 | 33.7 | 275 | 70 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2008 |
| ซีที 200 -7.5 | 7.5 | 567.1 | 34.0 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 200 -8.6 | 8.6 | 519.5 | 31.2 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 200 -10 | 10 | 497.4 | 29.8 | 200 | 78 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 250 -7.5 | 7.5 | 711.5 | 42.7 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 250 -8.6 | 8.6 | 676.8 | 40.6 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 250 -10 | 10 | 614.3 | 36.9 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 275 -7.5 | 7.5 | 745.4 | 44.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 275 -8.6 | 8.6 | 711.5 | 42.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 275 -10 | 10 | 676.4 | 40.6 | 275 | 78 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | กำลังติดตั้ง (กิโลวัตต์) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ซีอาร์ 250 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-714.4 | 14.6-42.9 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 250 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2-640.2 | 14.1-38.4 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -8.6 | 8.6 | 242.6-788.1 | 14.6-47.3 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -10.4 | 10.4 | 234.2-700.0 | 14.1-42.0 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีที 250 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0-696.9 | 14.3-41.8 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ซีที 250 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0-633.4 | 23.2-38.0 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -8.6 | 8.6 | 238.0-739.4 | 14.3-44.4 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -10.4 | 10.4 | 386.0-681.0 | 23.2-40.9 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
-ความชื้นสัมพัทธ์:0%
- แรงดันขาเข้าสัมบูรณ์: 1bar
-อุณหภูมิขาเข้า: 20°C
วัดอัตราการคายประจุ (FAD) ที่แรงดันใช้งานต่อไปนี้
ประเภทความเร็วคงที่:
-แบบ7.5บาร์ : 7บาร์
-8.6 บาร์ : 7 บาร์
-แบบ 10 บาร์ : 9 บาร์
ประเภท VSD:
-8.6 บาร์ : 7 บาร์
-10.4 บาร์ : 9 บาร์
(2) ระดับความดันเสียงที่ปล่อยออกมาแบบถ่วงน้ำหนักของเวิร์กสเตชัน (LpWSAd)
วัดตามมาตรฐาน ISO 2151:2004 (ใช้ 150 9614/2 (วิธีการสแกนความเข้มของเสียง)
ปัจจัยการแก้ไขที่เพิ่มเข้ามาใหม่คือค่าที่ไม่แน่นอนโดยสิ้นเชิง (KpAd) ซึ่งสอดคล้องกับโค้ดทดสอบ
(3) น้ำหนักมีไว้เพื่อการอ้างอิงเท่านั้น น้ำหนักจริงที่ให้มาจะมีผลเหนือกว่า
ซีอาร์ 300-750
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | กำลังติดตั้ง (กิโลวัตต์) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| zr 300 -7.5 | 7.5 | 774.6 | 46.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| zr 300 -8.6 | 8.6 | 725.7 | 43.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| zr 300 -10 | 10 | 695.1 | 41.7 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 315 -7.5 | 7.5 | 848.0 | 50.9 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 315 -8.6 | 8.6 | 793.1 | 47.6 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 315 -10 | 10 | 766.6 | 46.0 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 355 -7.5 | 7.5 | 939.1 | 56.3 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 355 -8.6 | 8.6 | 877.1 | 52.6 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 355 -10 | 10 | 839.6 | 50.4 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| zr 400 -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| zr 400 -8.6 | 8.6 | 963.9 | 57.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| zr 400 -10 | 10 | 930.5 | 55.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 425 -7.5 | 7.5 | 1143.9 | 68.6 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 425 -8.6 | 8.6 | 1063.1 | 63.8 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 450 -7.5 | 7.5 | 1275.7 | 76.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 450 -8.6 | 8.6 | 1191.8 | 71.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ฿ 450 -10 | 10 | 1106.3 | 66.3 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| zr 500 -7.5 | 7.5 | 1399.1 | 78.3 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| zr 500 -8.6 | 8.6 | 1305.2 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| zr 500 -10 | 10 | 1217.8 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 630 -7.5 | 7.5 | 1715.0 | 102.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 630 -8.6 | 8.6 | 1595.0 | 95.7 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ซอาร์ 630 -10 | 10 | 1484.1 | 88.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 750 -7.5 | 7.5 | 2046.2 | 122.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 750 -8.6 | 8.6 | 1827.4 | 109.6 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 750 -10 | 10 | 1696.7 | 101.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 |
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | กำลังติดตั้ง (กิโลวัตต์) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | น้ำหนักเต็มประสิทธิภาพ (กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 355 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1,037.5 | 22.3-62.2 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 355 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-942.4 | 22.5-56.5 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 400 VSD -8.6 | 8.6 | 371.2-1120.9 | 22.3-67.3 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ซีอาร์ 400 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-998.6 | 22.5-59.9 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 VSD -10.4 | 10.4 | 374.4-1177.9 | 22.5-70.7 | 81 | 81 | 9190 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 700 VSD -8.6 | 8.6 | 374.4-2061.8 | 54.9-123.7 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 700 VSD -10.4 | 10.4 | 849.7-1840.5 | 51.0-110.4 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 900 VSD -8.6 | 8.6 | 930.7-2475.4 | 55.8-148.5 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ซีอาร์ 900 VSD -10.4 | 10.4 | 864.8-1873.2 | 51.9-112.4 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 |
เงื่อนไขการอ้างอิงประสิทธิภาพสำหรับหน่วยวัดตามภาคผนวก C ฉบับที่ 4 (2009) ของ ISO 1217:
· ความชื้นสัมพัทธ์: 0%
· แรงดันขาเข้าสัมบูรณ์:1 บาร์
· อุณหภูมิทางเข้า:วัดอัตราการคายประจุ (FAD) 20°C ที่ความดันใช้งานต่อไปนี้:
ประเภทความเร็วคงที่:
· -7.5 บาร์ประเภท: 7 บาร์
· -8.6 บาร์ประเภท:7 บาร์
· -10 บาร์:9 บาร์
ประเภท VSD:
· -8.6 บาร์ประเภท:7 บาร์
· -10.4 บาร์ประเภท:9 บาร์
· (2) ระดับความดันเสียงที่ปล่อยออกมาแบบถ่วงน้ำหนักของเวิร์กสเตชัน (LpWSAd) วัดตามมาตรฐาน ISO 2151:2004 (โดยใช้วิธีการสแกนความเข้มของเสียง 150 9614/2) ปัจจัยการแก้ไขที่เพิ่มเข้ามาใหม่คือค่าที่ไม่แน่นอนโดยสิ้นเชิง (KpAd) ซึ่งสอดคล้องกับโค้ดทดสอบ
· (3) น้ำหนักมีไว้เพื่อการอ้างอิงเท่านั้น น้ำหนักจริงที่ให้มาจะมีผลเหนือกว่า
ซีอาร์ 200X-400X
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | กำลังติดตั้ง (กิโลวัตต์) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ซีอาร์ 200X -7.5 | 7.5 | 623.1 | 37.4 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 200X -8.6 | 8.6 | 601.9 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 200X -10 | 10 | 551.7 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 250X -7.5 | 7.5 | 717.7 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 250X -8.6 | 8.6 | 683.8 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ซีอาร์ 315X -7.5 | 7.5 | 939.0 | 56.3 | 315 | 76 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ซีอาร์ 355X -7.5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ซีอาร์ 355X -8.6 | 8.6 | 963.5 | 57.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ซีอาร์ 355X -10 | 10 | 930.2 | 55.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ซีอาร์ 400X -7.5 | 7.5 | 1143.8 | 68.6 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ซีอาร์ 400X -8.6 | 8.6 | 1062.7 | 63.8 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 VSD+ | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ซีที 145 วีเอสดี+ | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 160 วีเอสดี+ | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD+ | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 90 VSD+ | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 110 วีเอสดี+ | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 132 VSD+ | 10.4 | 78.8-377.5 | 4.7-22.7 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ซีที 145 วีเอสดี+ | 10.4 | 78.8-409.0 | 4.7-24.5 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 160 วีเอสดี+ | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| แบบอย่าง | แรงดันไอเสียสูงสุด (บาร์) | การจราจร FAD(ลิตร/วินาที) | การจราจร FAD(m³/min) | ระดับเสียง(dB(A)) | น้ำหนัก-มาตรฐาน(กก.) | ขนาด แอล(มม.) | ขนาด ก(มิลลิเมตร) | ขนาด ส(มิลลิเมตร) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-229.9 | 4.7-13.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-283.9 | 4.7-17.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-330.3 | 4.7-19.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ซีอาร์ 132 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-384.0 | 4.7-23.0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ซีอาร์ 145 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-415.2 | 4.7-24.9 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 VSD+ FF | 10.4 | 78.8-468.2 | 4.7-27.1 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ซีที 75 วีเอสดี+ FF | 10.4 | 78.8-227.4 | 4.7-13.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ซีที 90 วีเอสดี+ FF | 10.4 | 78.8-276.9 | 4.7-16.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ซีที 110 วีเอสดี+ FF | 10.4 | 78.8-323.4 | 4.7-19.4 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ซีที 132 วีเอสดี+ FF | 10.4 | 107.0-377.5 | 6.4-22.7 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ซีที 145 วีเอสดี+ FF | 10.4 | 118.0-409.0 | 7.1-24.5 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ซีที 160 วีเอสดี+ FF | 10.4 | 124.7-436.4 | 7.5-26.2 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
เงื่อนไขการอ้างอิงประสิทธิภาพสำหรับหน่วยวัดตามภาคผนวก C ฉบับที่ 4 (2009) ของ ISO 1217:
· ความชื้นสัมพัทธ์: 0%
· แรงดันขาเข้าสัมบูรณ์:1 บาร์
· อุณหภูมิทางเข้า:วัดอัตราการคายประจุ (FAD) 20°C ที่ความดันใช้งานต่อไปนี้:
ประเภทความเร็วคงที่:
· -7.5 บาร์ประเภท: 7 บาร์
· -8.6 บาร์ประเภท:7 บาร์
· -10 บาร์:9 บาร์
ประเภท VSD:
· -8.6 บาร์ประเภท:7 บาร์
· -10.4 บาร์ประเภท:9 บาร์
· (2) ระดับความดันเสียงที่ปล่อยออกมาแบบถ่วงน้ำหนักของเวิร์กสเตชัน (LpWSAd) วัดตามมาตรฐาน ISO 2151:2004 (โดยใช้วิธีการสแกนความเข้มของเสียง 150 9614/2) ปัจจัยการแก้ไขที่เพิ่มเข้ามาใหม่คือค่าที่ไม่แน่นอนโดยสิ้นเชิง (KpAd) ซึ่งสอดคล้องกับโค้ดทดสอบ
· (3) น้ำหนักมีไว้เพื่อการอ้างอิงเท่านั้น น้ำหนักจริงที่ให้มาจะมีผลเหนือกว่า
ผู้ผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์รายหนึ่งในเอเชียติดตั้งระบบอากาศเฉพาะทางของ DECHUAN เพื่อจัดหาลูปสร้างไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงและแขนทดสอบนิวแมติก ก่อนหน้านี้ คอมเพรสเซอร์มาตรฐานอนุญาตให้ไอระเหยของน้ำมันติดตามผ่านตัวกรองแบบอินไลน์ เคลือบเลนส์การพิมพ์หิน และทำให้เกิดการแตกหักระดับไมโครในการเคลือบเวเฟอร์ หลังจากติดตั้งเครื่องอัดอากาศแบบไร้น้ำมันสำหรับห้องปฏิบัติการเซมิคอนดักเตอร์ ห้องปฏิบัติการรายงานว่าไม่มีการปนเปื้อนในท่อที่เกี่ยวข้องกับน้ำมันเป็นศูนย์ ซึ่งช่วยประหยัดค่าใช้จ่ายในการทำความสะอาดห้องสะอาดและค่าใช้จ่ายในการสอบเทียบใหม่ได้อย่างมากตลอดการดำเนินงานต่อเนื่องสองปี
• การอัพเกรดวัสดุสแตนเลส: เราเปลี่ยนส่วนประกอบหล่อภายในมาตรฐานทั้งหมดด้วยสแตนเลสคุณภาพสูงเพื่อให้เป็นไปตามแนวทางการปนเปื้อนระดับไมโครที่เข้มงวด
• โปรโตคอลการสื่อสารขั้นสูง: หน่วยนี้ได้รับการโหลดล่วงหน้าด้วยโปรโตคอลการสื่อสารพิเศษ ช่วยให้ศูนย์ควบคุมห้องสะอาดสามารถตรวจสอบการวัดค่าอากาศจากระยะไกล
• รอยเท้าทางโครงสร้างที่กะทัดรัด: เค้าโครงภายในได้รับการปรับให้เหมาะสมเพื่อลดรอยเท้า ทำให้ง่ายต่อการติดตั้งภายในพื้นที่สาธารณูปโภคชั้นใต้ดินที่คับแคบของห้องปฏิบัติการ
ตอบ: ได้ เอาต์พุตอากาศของเราเข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเครื่องทำลมแห้งที่ใช้สารดูดความชื้นในห้องคลีนรูมขั้นสูงและระบบกรองอนุภาคขนาดต่ำกว่าไมครอน เนื่องจากอากาศดิบไม่มีไอน้ำมัน ตัวกรองเฉพาะจุดใช้งานของคุณจะไม่อุดตันด้วยละอองน้ำมัน ซึ่งช่วยยืดอายุตัวกรอง
ตอบ: เครื่องอัดอากาศแบบไม่มีน้ำมันสำหรับห้องปฏิบัติการเซมิคอนดักเตอร์มีช่องระบายอากาศทางกายภาพระหว่างตัวเรือนเกียร์แบบหล่อลื่นด้วยน้ำมันและห้องอัดแบบแห้ง ซีลวงแหวนคาร์บอนแบบไม่สัมผัสแบบพิเศษจับคู่กับช่องแรงดันลบ เพื่อให้มั่นใจว่าละอองน้ำมันเกียร์จะถูกปิดกั้นไม่ให้เข้าสู่กระแสอากาศที่สะอาดโดยสิ้นเชิง
ตอบ: ตัวควบคุม Elektronikon® สุ่มตัวอย่างข้อมูลสำคัญหลายครั้งต่อวินาที หากตรวจพบอุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็วในขั้นตอนใดก็ตาม ระบบจะสั่งการปิดระบบอัตโนมัติทันทีและปิดวาล์วแยก เพื่อให้แน่ใจว่าอากาศที่ไม่เย็นจะไม่ไหลลงสู่อุปกรณ์ที่มีความละเอียดอ่อนของห้องปฏิบัติการของคุณ
ลิขสิทธิ์© 2025 Dechuan Compressor (Shanghai) Co., Ltd. สงวนลิขสิทธิ์
